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滑閥式真空泵的檢修

對于滑閥式真空泵的檢修,一般要對泵徹底解體,全面檢查,測量滑閥與泵體之間的間隙(正常的間隙為0.04~0.12mm);檢查泵內的滑閥、導軌泵偏心輪表面有無裂紋,表面有裂紋,立即更換;泵內的密封件全部更換;在泵動態(tài)運行上,可應用振動測試儀,每周對泵的振動情況作了測試,根據(jù)所測的數(shù)據(jù),就可初步判定軸承、滑閥等部件的磨損情況,在軸承運動精度降低的情況下,就將其更換掉,避免由于軸承的磨損而導致滑閥與泵腔之間的撞擊與摩擦。對修復的機械泵應用真空表,進行極限壓力測試,確定泵的性能和修復效果。對于使用時間長的舊泵,泵的間隙大于0.1mm小于0.2mm,極限真空要求不是很苛刻的,還可選用運動粘度為150mm2/s的真空泵油,也可滿足泵的正常工作。

由于泵腔的磨損,導致滑閥與泵腔之間的間隙大于0.2mm的泵,需要與泵的制造廠家配合,根據(jù)泵腔的磨損情況,專門制作滑閥、偏心輪、導軌,使之與泵腔保持正常的間隙;對于泵腔磨損、劃傷嚴重的,抽空時間和極限壓力不能滿足工藝需要的,維修備件費用接近新泵價格一半左右的,已失去維修價值,應更換新的滑閥式真空泵。

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