真空機組設計中常會碰到一些特殊工況條件，設計中必須采用一定措施才能滿足使用條件，常見的特殊工況及設計處理方法如下。

①抽除含有大量水蒸氣的混合氣體，或者類似具有較高蒸氣壓的氣體，如:乙醉、鹵代烴等。抽除這類氣體采用羅茨泵與水環(huán)泵的機組或者是羅茨泵與氣冷直排大氣羅茨泵的機組均可。但是，只要被抽氣體成分不破壞前級泵油，抽除這類氣體最經濟的設計選擇是羅茨泵與旋片泵組成的機組，在羅茨泵的進出口分別串聯冷卻器，使大量過飽和蒸汽在冷卻器中冷凝下來排走，如果前級泵采用像X-150單級旋片真空泵這種熱泵，機組適用性更強。

②對抽除高沸點物質的氣體，如:丙三醇(C3H8O3)等氣體，為避免這類氣體進入羅茨泵凝結沉積下來，必須提高羅茨泵的溫度，如充入高溫加熱的氮氣來提高泵溫。但應防止轉子因過熱而卡死。

③最多見的特殊工況是抽除含有大量灰分或顆粒狀雜質的氣體，一般處理方法均應在機組入口前加裝除塵器，除塵器的選擇應根據氣體含塵量多少和塵粒大小等因素，并注意除塵器在結構設計上保證既要達到除塵目的，又要減少通導能力的損失。