電子束熔煉爐:電子束熔煉爐主要是利用電子束所發(fā)出的巨大熱能作為熔煉或合金的熱源進行冶煉。它與真空感應(yīng)爐、.真空電弧爐所起的作用相同。由于熔煉的價格昂貴，所以只用于難熔金屬、活潑金屬或合金的熔煉。一般金屬大多在其它真空爐中冶煉。對于需要高溫以及對于要嚴(yán)格防止污染等特殊的場合下，有時也用電子束爐來熔解、精煉和鑄錠，其效果是很好的。
電子束熔煉爐與真空電弧爐的主要區(qū)別在于:在真空電弧爐中熔煉金屬或合金時，熱量的來源來自電極和自耗電極之間的電弧。而電子束熔煉爐中熔煉各種材料的熱量來源于電子槍發(fā)出的具有高能密度的電子束。電子束熔煉可以避免電極的污染，還可以保持熔池，從而可以進行徹底的純化，熔煉材料的形狀不受限制。
一般電子束熔煉爐由電子槍室和熔煉室組成。電子槍室可由機械泵和擴散泵排氣，以獲得10-4~10-6Torr的真空度。熔煉室可由機械泵、增壓泵和擴散泵組成或采用多級羅茨泵排氣,以獲得10-2~10-6Torr的真空度。
